導(dǎo)入案例 客戶之聲 ＜厚度篇＞
案例 1: 玻璃的厚度測量
| 行業(yè)種類 | 半導(dǎo)體和液晶行業(yè) |
|---|---|
| 用途名稱 | 玻璃的厚度測量 |
| 采用機(jī)型 | LK-G5000系列 |
使用A公司的激光移位計(jì)測量了玻璃的厚度。有時(shí)圖案面會產(chǎn)生追蹤誤差，難以改善檢查效率。
通過采用基恩士的激光移位計(jì)LK系列，可消除圖案面的追蹤誤差，并改善檢查效率。
客戶之聲
歡迎采用本設(shè)備。
因玻璃面與圖案面的反射率之差導(dǎo)致圖案面的追蹤誤差。為了在各個(gè)面上呈現(xiàn)理想的反射光量，可通過激光移位計(jì)LK系列高速控制發(fā)射時(shí)間和發(fā)射功率，無限降低追蹤誤差的影響。
基恩士
案例 2: 多層薄膜的膜厚測量
| 行業(yè)種類 | 電子和電機(jī)行業(yè) |
|---|---|
| 用途名稱 | 多層薄膜的膜厚測量 |
| 采用機(jī)型 | SI-T系列 |
通過X線式的膜厚計(jì)測量了透明多層薄膜的膜厚。測量點(diǎn)較大，無法管理細(xì)微厚度的偏差。
通過采用基恩士的分光干涉式激光位移計(jì)，可測量細(xì)微的薄膜厚度，并活用于吐出流量、壓力及傳輸速度的理想控制。
客戶之聲
歡迎采用本設(shè)備
分光干涉式激光位移計(jì)SI系列可通過30 μm的小光點(diǎn)來測量厚度，因此能準(zhǔn)確測量至邊緣部?？捎糜跈z測纏繞不良和預(yù)防扎帶現(xiàn)象。
基恩士
案例 3: 晶圓的厚度測量
| 行業(yè)種類 | 半導(dǎo)體和液晶行業(yè) |
|---|---|
| 用途名稱 | 晶圓的厚度測量 |
| 采用機(jī)型 | SI-R系列 |
通過接觸式測量儀管理了晶圓的厚度。存在測量時(shí)切開晶圓導(dǎo)致劃傷的課題，因此研究使用非接觸測量儀。
通過采用基恩士的分光干涉式激光位移計(jì)SI-R系列，無需擔(dān)心劃傷晶圓。頭部較小，可安裝于裝置內(nèi)，從而能始終監(jiān)視晶圓的厚度。
客戶之聲
歡迎采用本設(shè)備。
分光干涉式激光位移計(jì)SI-R系列采用了可透過Si及GaAs、SiC、InP、a-Si等半導(dǎo)體的近紅外SLD。因此，即使貼有BG膠帶，仍可準(zhǔn)確測量晶圓的厚度。
基恩士
案例 4: 面條的厚度測量
| 行業(yè)種類 | 食品行業(yè) |
|---|---|
| 用途名稱 | 面條的厚度測量 |
| 采用機(jī)型 | LK-G5000系列 |
使用千分尺抽檢了面條的厚度。由于面條柔軟，受到接觸壓力的影響，會存在因人而異的測量結(jié)果偏差。
通過采用基恩士的激光移位計(jì)LK系列，實(shí)現(xiàn)了在線管理厚度。當(dāng)然，由于為非接觸式測量，也可解決因人而異的偏差問題。
客戶之聲
歡迎采用本設(shè)備。
面條的厚度測量是采用實(shí)績較多的一種用途。由于面條的制造工序處于面粉彌漫的環(huán)境，因此穩(wěn)定測量值非常重要。
激光移位計(jì)LK系列配備了能消除突發(fā)性值的中值濾波器，可不受面粉的影響進(jìn)行穩(wěn)定測量。
基恩士
案例 5: 橡膠薄板的厚度測量
| 行業(yè)種類 | 樹脂和橡膠行業(yè) |
|---|---|
| 用途名稱 | 橡膠薄板的厚度測量 |
| 采用機(jī)型 | LK-G5000系列 |
使用A公司的激光移位計(jì)在線測量了橡膠薄板的厚度。
由于不支持產(chǎn)品公差的嚴(yán)格要求，因此嘗試了基恩士的激光移位計(jì)LK系列。也可通過LK系列解決因表面粗糙度影響所產(chǎn)生的測量值偏差。由于測試結(jié)果良好，因此決定購買。
客戶之聲
歡迎采用本設(shè)備。
激光移位計(jì)LK系列擁有392 kHz超快采樣速度的特點(diǎn)。通過平均處理高速采樣所獲得的大量數(shù)據(jù)，即使在線測量仍可穩(wěn)定測量厚度。
基恩士
案例 6: 馬達(dá)機(jī)芯的迭片厚度測量
| 行業(yè)種類 | 運(yùn)輸和金屬行業(yè) |
|---|---|
| 用途名稱 | 馬達(dá)機(jī)芯的迭片厚度測量 |
| 采用機(jī)型 | LK-G5000系列 |
馬達(dá)機(jī)芯迭片的性能隨迭片數(shù)量而異，因此要目視檢查安裝的迭片是否為規(guī)定數(shù)量。
使用基恩士的激光移位計(jì)LK系列能在線測量厚度，可自動進(jìn)行抽檢。
客戶之聲
歡迎采用本設(shè)備。
若要通過厚度測量判斷迭片數(shù)量是否在規(guī)定范圍內(nèi)，則要求精確到微米級的測量精度。激光移位計(jì)LK系列采用了能大幅控制表面粗糙度影響的光學(xué)設(shè)計(jì)，并配備了專用部件，可在線高精度測量各種目標(biāo)物。
基恩士
案例 7: 玻璃面板的密封材料厚度測量
| 行業(yè)種類 | 運(yùn)輸和金屬行業(yè) |
|---|---|
| 用途名稱 | 玻璃面板的密封材料厚度測量 |
| 采用機(jī)型 | LJ-V系列 |
使用相機(jī)檢查了玻璃面板的密封材料。雖然目前可以檢查涂層破損，但還需要檢查密封材料的傾斜，因此導(dǎo)入了基恩士的2D激光移位計(jì)LJ系列。將傳感頭固定在膠槍上，不僅可測量涂層破損，還可測量厚度、寬度及截面面積等。
客戶之聲
歡迎采用本設(shè)備。
2D激光移位計(jì)LK系列的特點(diǎn)是具備超快的采樣速度。即使在高速控制膠槍的情況下，仍可進(jìn)行窄小間距的測量，因此能防止密封不良。
基恩士
