產(chǎn)品應(yīng)用 微型傳感頭型分光干涉式 激光位移計 SI-F 系列

SI-F 系列微型傳感頭型分光干涉式激光位移計應(yīng)用

在自動化應(yīng)用和傳感應(yīng)用中出色的表現(xiàn)。

測量晶片厚度

微型傳感頭可用于測量硅晶片等精密物體的厚度和翹曲度。

  • [優(yōu)點] 超高分辨率
    0.25 μm 的分辨率
  • 多功能控制器
    算術(shù)運算電路將測量數(shù)據(jù)即時轉(zhuǎn)換為厚度
  • 不發(fā)熱
    傳感頭中沒有電子部件，不會產(chǎn)生熱量

測量復(fù)印機中的輥的動作

微型傳感頭可用于測量復(fù)印機等精密機械中的各個部件的動作。

  • [優(yōu)點] ?2 mm 微型傳感頭
    無需預(yù)留安裝位置
  • 最高可承受 85°C
    即使緊靠發(fā)熱的機身也能進(jìn)行測量
  • 5 kHz 高速采樣
    即使是高速工件也可安全地測量

定位高精度載物臺

微型傳感頭可用于檢測載物臺停止的位置，因此可將實際值與參考值的差值反饋給相關(guān)設(shè)備。

  • [優(yōu)點] 10 mm 以上的設(shè)定距離
    無碰撞危險
  • 最多 6 軸同時測量
    實現(xiàn)無時間誤差的多軸控制
  • ?8 mm 小型傳感頭
    無需預(yù)留安裝位置

高精度測量輥的偏轉(zhuǎn)

微型傳感頭可用于測量各種要求精確測量的輥（例如膠輥）的偏轉(zhuǎn)。

  • [優(yōu)點] 對工件無傷害
    非接觸測量方式避免損傷工件
  • 直接表示偏轉(zhuǎn)度
    控制器即時算出并顯示偏轉(zhuǎn)度
  • 5 kHz 高速采樣
    可緊跟高速旋轉(zhuǎn)的工件

測量曝光掩模的間隙

微型傳感頭可用于測量曝光掩模和玻璃基板的間隙。

  • [優(yōu)點] 80 mm 的設(shè)定距離
    即使掩模較厚亦可安裝微型傳感頭
  • ?12 mm 小型傳感頭
    無需預(yù)留安裝位置
  • 不發(fā)熱
    傳感頭中沒有電子部件，不會產(chǎn)生熱量

測量玻璃盤的厚度

微型傳感頭可用于測量玻璃盤等光學(xué)透明物體的厚度。

  • [優(yōu)點] 超高分辨率
    0.25 μm 的分辨率
  • 5 kHz 高速采樣
    可測量高速旋轉(zhuǎn)的工件的厚度
  • 最多 6 軸同時測量
    實現(xiàn)無時間誤差的多軸控制